IONPURE VNX55-E Modulo CEDI ad alto flusso 18 MΩ-cm Acqua ultrapura per sistemi di trattamento dell'acqua di alta purezza per la microelettronica

IONPURE VNX55-E è un modulo di elettrodeionizzazione continua ad alto flusso (CEDI) che fornisce un flusso nominale di acqua del prodotto di 12,5 m³/h (55 gpm) per sistemi ad acqua semiconduttore e ultrapura. Progettato come un modulo cedi senza sostanze chimiche per sistemi di trattamento dell'acqua di alta purezza, garantisce una resistività di 18 MΩ · cm con la rimozione della silice e del boro del 95%. Adatto per l'acqua di risciacquo microelettronica, anelli UPW fab wafer e alimentazione caldaia di generazione di energia.

Che cos'è un modulo CEDI ad alto flusso?

Un modulo CEDI ad alto flusso è un dispositivo di purificazione dell'acqua elettrochimico che rimuove continuamente contaminanti ionizzati e ionizzabili dal permeato di osmosi inversa (RO) per produrre acqua ultrapura senza rigenerazione chimica. A differenza dello scambio ionico a letto misto convenzionale, i moduli CEDI utilizzano membrane di scambio ionico, resine di scambio ionico e un potenziale elettrico CC per guidare la migrazione ionica, dividendo l'acqua in ioni H + e OH per la rigenerazione in situ della resina. Ciò elimina la manipolazione acida/caustica, i serbatoi neutralizzanti e i tempi di inattività di rigenerazione.

Il VNX55-E rappresenta la più alta capacità di flusso nominale della serie IONPURE VNX, con una capacità nominale di 12,5 m³/h per modulo. È specificamente ottimizzato per la fabbricazione di microelettronica, dove il controllo di silice, boro, sodio e cloruro a livello di ppb è obbligatorio per la protezione del rendimento del wafer. Molti moduli VNX55-E possono essere manipolati in parallelo per costruire sistemi superiori a 228 m³/h (1.000 gpm).

Specifiche chiave

Flusso nominale del prodotto: 12,5 m³/h per modulo (55 gpm)

Resistività dell'acqua del prodotto: ≥18 MΩ · cm (garantito)

Silicia (SiO) ₂) Rimozione: ≥95%

Rimozione del boro: ≥95%

Sodio (Na) ⁺) Rimozione: ≥99,8%

Cloruro (Cl) ⁻) Rimozione: ≥99,8%

Recupero dell'acqua: 98,5% a 99%

Intervalo di tensione di funzionamento DC: da 0 a 300 V

Funzionamento gamma di corrente continua: da 2,0 a 13,2 A

Conduttività dell'acqua di alimentazione: amp; lt; 10µS/cm (acqua secondaria RO o DI richiesta)

Gamma di temperatura dell'acqua di alimentazione: da 20 ° C a 45 ° C

Intervalo di pressione dell'acqua di alimentazione: da 1,4 a 7 bar (da 20 a 100 psi)

Acqua di alimentazione residuo di cloro: amp; lt; 0,02 ppm

Durezza totale dell'acqua di alimentazione: amp; lt; 0,1 ppm (come CaCO) ₃)

Silice reattiva dell'acqua di alimentazione: amp; lt; 0,2 ppm

Temperatura ambiente massima: ≤45°C

Ambiente di installazione: al coperto, evitare la luce solare diretta

Diametro del modulo: 44,45 cm

Larghezza del modulo: 50,8 cm

Altezza del modulo: 50,8 cm

Lunghezza del modulo: 213,3 cm

Connessioni: design di guarnizione attraverso la porta, connettori in polipropilene (PP) a saldatura di 50 mm inclusi

Scatola di giunzione: Scatola di giunzione pre-cablata inclusa

Certificazioni: Marchio CE, fabbricato secondo sistemi di gestione della qualità certificati ISO 9001 e ISO 14001

Prestazioni tipiche della resistività del prodotto: da 17,5 a 18 MΩ · cm

Punti salienti tecnici

Il compartimento del concentrato a cellule sottili elimina l'iniezione di salamura. Il design a cellule sottili proprietario concentra ioni respinti senza richiedere alimentazione esterna di salamura o pompe di ricircolazione del concentrato, semplificando le tubazioni del sistema e riducendo il numero di attrezzature ausiliarie.

La tenuta della guarnizione attraverso la porta impedisce le perdite inter-circuito. Ogni punto di connessione utilizza una guarnizione di compressione attraverso la porta che isola flussi di prodotto, concentrato ed elettrodo. Le modalità comuni di guasto delle scanalature a anello o incontrate con i progetti convenzionali di piastre e telaio vengono eliminate, riducendo il rischio di fermo non programmato nelle operazioni continue 24 ore su 24, 7 giorni su 7.

La distribuzione integrata del flusso ottimizza l'efficienza della corrente. Il percorso di flusso interno del modulo e la disposizione di imballaggio della resina mantengono una densità di corrente uniforme su tutta l'area attiva della membrana. Ciò impedisce hotspot localizzati che degradano la vita della membrana e garantisce prestazioni garantite di rigetto di silice e boro nel recupero dell'acqua dal 98,5% al 99%.

Il funzionamento senza sostanze chimiche riduce il carico OPEX e EHS. La rigenerazione elettrochimica avviene continuamente all'interno del modulo - non sono necessarie sostanze chimiche acide, caustiche o neutralizzanti. Una domanda comune di acquisto è se i moduli CEDI richiedono la sostituzione periodica della resina o la pulizia chimica. I moduli IONPURE VNX55-E funzionano per anni senza sostituzione della resina; La frequenza di pulizia dipende interamente dalla conformità dell'acqua di alimentazione alla qualità minima di ingresso specificata.

Applicazioni

Lubricazione ad acqua ultrapura fab wafer semiconduttore: riceve permeato RO secondario e lucida a 18 MΩ · cm per litografia ad immersione, incisione umida e pulizia post-CMP. Silice e boro removal≥95% protegge contro la formazione di difetti di microcircuito nei processi di nodo sub-10 nm.

Acqua di risciacquo di produzione di display a pannello piatto (FPD): fornisce acqua di risciacquo coerente di alta purezza per la pulizia del substrato LCD e OLED. Il flusso di 12,5 m³/h per modulo consente un impianto compatto per impianti UPW fab Gen 8.5 e Gen 10.5.

Acqua di alimentazione della caldaia ad alta pressione per la generazione di energia: lucida la conduttività RO a sub-0,1 µS/cm per la composizione della caldaia ad alta pressione in turbine a gas a ciclo combinato e impianti a carbone supercritici. Il removal≥99.8% di sodio impedisce la corrosione della pala della turbina e la scalatura della silice.

Pretrattamento dell'acqua purificata farmaceutica (PW) e dell'acqua per iniezione (WFI): Serve come fase di pre-lucidatura a monte della distillazione o dell'UF finale. Elimina la manipolazione chimica associata allo scambio di DI di servizio rigenerato fuori sito, semplificando gli audit di conformità USP e EP.

Ampliazione dell'impianto centrale UPW su larga scala: diversi moduli VNX55-E manipolati in parallelo producono oltre 228 m³/h per circuiti di distribuzione in tutto il campus. La scatola di giunzione integrata e i connettori a saldatura in PP da 50 mm inclusi riducono il lavoro di tubazione sul campo e il tempo di terminazione elettrica durante l'installazione.

Guida alla selezione

Applicazioni adatte:

Grandi sistemi di acqua ultrapura che richiedono ≥12,5 m³/h per treno di lucidatura con conduttività di alimentazione consistentlyamp; lt;10µS/cm da RO a monte

Fabbriche di semiconduttori e microelettronica dove le specifiche di rimozione di silice, boro, sodio e cloruro sono critiche per la lavorazione dei wafer

Strutture che cercano di eliminare la manipolazione chimica pericolosa - nessun accumulo di acido o caustico alla rinfusa, nessun sistema di neutralizzazione, nessun carico di permesso di scarico di salmura di rifiuti

Sala di controllo interna o edifici di trattamento dell'acqua con temperatura ambiente mantenuta a 45°C o inferiore e senza luce solare diretta sui moduli

Non consigliato per:

Acqua di alimentazione con conduttività superiore a 10 µS/cm o durezza; gt; 0,1 ppm senza aggiornamento del pretrattamento. Superare le specifiche di ingresso riduce la resistività del prodotto, accelera la scalazione all'interno dei compartimenti del concentrato e può danneggiare permanentemente le membrane di scambio ionico.

Applicazioni che richiedono una resistività dell'acqua del prodotto inferiore a 10 MΩ·cm a pieno flusso. In tali casi, un modulo CEDI più piccolo della serie IONPURE VNX-CDIT o IP-LXM può fornire un costo di capitale più proporzionale per unità di flusso.

Installazioni all'aperto senza custodie antimeteo. Il VNX55-E è valutato per l'uso in interni; L'esposizione agli UV e gli ambienti a rischio di congelamento richiedono un rifugio a temperatura controllata.

Domande frequenti

1.Quali sono le dimensioni dell'impronta e dell'installazione di IONPURE VNX55-E?

Il corpo del modulo è lungo 213,3 cm, largo 50,8 cm e alto 50,8 cm con un diametro di 44,45 cm. Permettere spazio aggiuntivo per raccordi di connessione PP a saldatura a butto di 50 mm e accesso alla scatola di giunzione frontale.

2.How lungo è il tempo di consegna tipico o il tempo di consegna per un VNX55-E?

Il termine di consegna standard è da 8 a 12 settimane dalla conferma dell'ordine in fabbrica. Per le scadenze di progetto urgenti, le fasi di produzione accelerate possono ridurre la consegna a 6 settimane.

3.Che qualità dell'acqua di alimentazione è necessaria per operare in modo affidabile il VNX55-E?

L'acqua di alimentazione deve essere permeata RO secondaria o acqua di qualità DI con conduttività; lt; 10µS/cm, temperatura 20-45°C, pressione 1,4-7 bar, cloro residuo; lt; 0,02 ppm, durezza; lt;0,1 ppm come CaCO ₃, e silicio reattivo; lt; 0,2 ppm. Il funzionamento al di fuori di questi limiti riduce la resistività dell'acqua del prodotto e può annullare la copertura della garanzia.

4.Quanto costa il modulo CEDI IONPURE VNX55-E? Qual è il prezzo?

Il VNX55-E varia tipicamente da 65.000 a 85.000 USD per modulo a seconda del volume di configurazione del sistema e dei termini di consegna regionali. I prezzi fluttuano a causa dei tassi di cambio, delle tariffe e degli aggiustamenti di fabbrica. Per un preventivo preciso con i prezzi correnti e i costi di spedizione, contatta direttamente Beijing Zhongping Technology.

5.Quali termini di pagamento sono disponibili quando si acquista il VNX55-E?

Accettiamo bonifico bancario (T / T) e lettera di credito irrevocabile (L / C) a vista. Per i conti industriali qualificati, Beijing Zhongping Technology offre pagamenti stagionali legati alle pietre miliari del test di accettazione in fabbrica.

6.Can il VNX55-E funzionare a flusso parziale, per esempio durante la messa in servizio o periodi di bassa domanda?

Sì, il modulo può funzionare a flusso ridotto regolando proporzionalmente la corrente continua. Mantenere il flusso di acqua di alimentazione entro il 60% al 110% della nominale e regolare la tensione per mantenere la densità di corrente obiettivo per la rimozione ottimale degli ioni.

7.Quale tasso di recupero dell'acqua raggiunge il VNX55-E e come viene gestito il concentrato?

Il modulo raggiunge il recupero dal 98,5% al 99%. Il rimanente flusso di concentrato da 1% a 1,5% può essere restituito al serbatoio di alimentazione RO o scaricato, poiché contiene solo sali di alimentazione concentrati senza sostanze chimiche aggiunte.

8.Il VNX55-E è compatibile con i sistemi esistenti di controllo di sorveglianza e acquisizione dati basati su PLC?

Sì, la scatola di giunzione pre-cablata fornisce terminali di ingresso di alimentazione DC. Gli utenti forniscono alimentazione DC esterna (nominale a 0-300 VDC, 2,0-13,2 A) da un rettificatore controllato da un segnale analogico 4-20 mA o 0-10 VDC dall'impianto SCADA o PLC.

9.Quale garanzia porta il VNX55-E e sono disponibili contratti di servizio estesi?

Forniamo una garanzia standard di 12 mesi dalla messa in servizio o 18 mesi dalla spedizione, a seconda di quale si verifica prima. Programmi di garanzia estesi tra cui audit annuali delle prestazioni e test di integrità della membrana sono disponibili da Beijing Zhongping Technology.

10.Come i moduli di sostituzione o espansione VNX55-E sono abbinati idraulicamente ai collettori esistenti?

Tutti i moduli VNX55-E condividono identica resistenza idraulica e geometria della porta. Nuovi moduli possono essere aggiunti a un collettore parallelo esistente senza riequilibrare l'orificio. Fornire il flusso di progettazione del sistema e il carico corrente per treno durante l'ordine, e la tecnologia di Pechino Zhongping fornisce un disegno di connessione collettore e un programma di carico elettrico.